製品情報

PUREMATIC

PUREMATIC

各種産業機械のパフォーマンス向上のために。
「水」を高精度かつ最適な温度にコントロール

「水」または「純水」を熱媒体に使用する場合の液温自動調整機です。レーザー加工機や、露光装置をはじめとする半導体製造装置、医療機械、またリニアモータなどの機械要素の冷却に利用され、極めて精度の高い温度制御を実現します。

TECHNOLOGY

半導体製造装置、医療機械などの熱問題に対応

半導体製造装置、医療機械、リニアモータ、その他産業機械などの中には、稼働時の熱に対する冷却液に「水」または「純水」を使用しなくてはならない機器があります。「ピュアマチック」は、そうした場合の「水」「純水」の液温自動調整機です。極めて精度の高い温度制御を求められるケースもあり、当社の製品中でも最もハイレベルな技術が駆使されている製品があります。特に半導体製造装置メーカーに向けては、世界最高レベルの温調機の提供を果たしています。

LINE UP

  • W シリーズ

    工作機械の主軸頭のビルトインモータやリニアモータ、半導体製造装置や各種産業機械に使用される「水」の高精度な温度コントロールが可能な機種で、インバータ制御方式を採用。低負荷領域においても高精度に液温のコントロールが可能な「ツインパルス弁制御(特許)」を搭載しており、低負荷から最大熱負荷にいたるまでワイドレンジな制御を可能にしています。

  • P シリーズ

    主として半導体製造装置や医療機器などの各種産業機械・理化学機器で、水や純水、その他特殊な液体を熱媒体にして高精度な温度コントロールをすることを目的に開発された機種です。Wシリーズ同様、インバータ冷凍機を搭載してツインパルス弁制御を行うことで、広範囲に高精度な温度コントロールを行います。装置本体に組み込むなど、OEM 供給の実績も豊富です。