PUREMATIC

用于各种工业机器的性能改进。
以高精度和
最佳温度控制“水”

使用“水”或“纯水”作为热介质时的自动液体温度控制器。用于激光加工机等机械元件、曝光设备等半导体制造设备、医疗设备、直线电机等的冷却,实现了极高精度的温度控制。

应对半导体制造设备、医疗设备等的发热问题

在半导体制造设备、医疗设备、直线电机和其他工业设备中,有些设备在运行过程中需要使用“水”或“纯水”作为冷却剂来抵御热量。“Purematic”是针对这种情况下的“水”和“纯水”的液体温度自动调节机。有时需要极高精度的温度控制,我们的一些产品使用了最高水平的技术。特别是,我们为半导体制造设备制造商提供世界最高水平的温度控制器。

排队

用于主轴冷却、液压油温度控制、润滑油温度控制

  • W系列

    该机型能够对机床、半导体制造设备和各种工业机械的主轴头的内置电机和直线电机中使用的水进行高精度温度控制,并采用变频控制方式。配备“双脉冲阀控制(专利)”,即使在低负载范围内也能以高精度控制液体温度,可实现从低负载到最大热负载的宽范围控制。

  • P系列

    本机型是以水、纯水等特殊液体为热介质,以高精度温度控制为目的而开发的,主要用于半导体制造设备、医疗设备等工业机械和理化设备。与 W 系列一样,它配备了变频制冷机,并执行双脉冲阀控制,以实现大范围、高精度的温度控制。我们在提供OEM产品方面拥有丰富的经验,例如将它们嵌入设备主体中。